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14nm国产“小光刻机”研制成功！

来源：晰数塔互联网快讯时间：2026年09月03日 15:35

（来源：电子技术应用ChinaAET）

9月2日消息，半导体量检测设备企业惠然微电子近日披露了其电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）国产化的最新进展。CD-SEM被业界称为"小光刻机"，是国产化率第二低的半导体设备品类，仅次于光刻机。

三款自主研发产品发布

惠然微电子于第十四届半导体设备材料及核心部件展上发布三款自主研发产品。14/22nm CD-SEM关键尺寸量测设备向下兼容22nm量产、向上支撑14nm工艺研发，可应用于研发与量产两类场景；Mask CD-SEM掩模版量测装备面向22nm及以上节点光刻掩模版关键尺寸计量需求；AI-电子束量测技术平台RMS作为CD-SEM智能体产线解决方案，覆盖硬件与算法数据处理环节。

惠然微电子董事长王志刚博士在接受媒体采访时指出，CD-SEM国产化面临跨学科技术集成、经验know-how积累、供应链配套三重核心壁垒。

惠然微基于电子束共性技术平台，已形成"半导体+泛半导体/科仪"双线产品布局，产品线覆盖CD-SEM、电子束缺陷检测设备（EBI）、科研用扫描电镜（SEM）、聚焦离子束（FIB-SEM）等，兼容12英寸与6/8英寸晶圆多应用场景。

惠然微电子已成功研制14纳米研发级和22纳米量产级12英寸晶圆CD-SEM量测设备，破解了先进制程晶圆在线量测"卡脖子"难题。据悉，多款量检测设备已在国内成熟制程工艺客户量产线实现导入并稳定运行。

值得关注的是，惠然微电子率先将AI技术引入微观量测分析系统，通过深度学习实现单帧扫描图像增强至接近64帧画质水平，有望将相关工艺段生产效率提升10倍以上。

产业交流与战略合作

华润微电子董事长何小龙在交流中表示，高端量检测正从实验室进入量产线，需要国内客户的参与，保障晶圆制造的供应链体系安全。惠然微电子董事长王志刚以《埃米时代的量测革命：CD-SEM技术演进、产业趋势与国产电子束装备突围》为题，介绍国产电子束装备的技术路径与产业进展。产业交流环节，长电科技、华虹半导体等企业，鲸芯资本、锡高投等投资机构，中国科学院微电子所光电中心等科研院所参与讨论。

在产业协同方面，惠然微电子技术（无锡）有限公司与华润微电子有限公司签署战略合作框架协议，双方围绕半导体设备国产化，联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用，并建立技术交流机制和人才培养机制，协同产业链上下游资源整合。

王志刚表示，未来3至5年将是国内电子束量测领域的加速追赶期，惠然微电子将通过"终端用户—科研机构—行业伙伴—上游供应链"四层协同战略，聚力推动国产半导体量测装备自主可控进程。