深耕国内高纯电子气体领域，至纯精密气体连续完成共计超5亿元融资

近日，国内高纯电子气体领域的核心企业至纯精密气体完成数亿元战略融资，本轮融资由海金至纯、西海产投、梅塞尔中国、正和共创、浙江国创等投资。

2025年12月，至纯精密气体刚刚获得由上海浦东智能制造基金领投的首轮数亿元融资，两轮累计融资超5亿元。

上海至纯精密气体有限公司成立于2021年3月，脱胎于国内半导体高纯工艺系统领域的龙头企业——至纯科技。依托母公司在服务国内主流晶圆制造厂过程中积累的二十年深厚工艺理解、客户信任与工程经验，至纯精密气体自诞生之初便具备了从“高纯工艺系统”向“核心材料”跨越的独特基因与高起点，这使得公司对芯片制造中气体应用的极致要求有着无人能及的深刻认知。

至纯精密气体的核心优势首先在于其已被规模化验证的硬核实力，例如成功投运了国内首座完全国产化的28纳米制程12英寸晶圆厂大宗气站，实现了该领域从“0”到“1”的突破，其ppb级纯度的稳定控制与第二座气站的快速复制，证明了强大的工程化与运营能力。其次，公司构建了深度绑定客户的“现场制气”(On-Site)模式，通过长期协议融入客户生产体系，形成了高粘性的业务护城河与确定性的高成长，2024年电子材料业务营收超165%的同比增幅便是明证。

未来，上海至纯精密气体有限公司将持续向上游高附加值领域延伸，致力于打造一站式国产化材料供应平台。

发布于：北京

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